日本EBARA JITSUGYO:開發新型無水銀臭氧監測儀的通知

日本EBARA JITSUGYO開發了環保的無水銀臭氧監測儀。

1.產品名稱

EG-3100系列(面向上下水道設施的高精度臭氧監視器)

EG-690(半導體制造工藝用直排型臭氧監視器)

2.概要

日本EBARA JITSUGYO的臭氧監測儀是利用紫外線吸收法精密測量氣體中和水中臭氧濃度的測量儀器。

到現在為止一直使用水銀燈作為紫外線的光源。

此次開發的新型臭氧監測儀是針對社會對環境的關注，采用UV-LED光源中采用實現無水銀。另外，通過修正發光特性的技術，UV-LED光源很難實現使被認為是詩的高精度的測定成為可能。

日本EBARA JITSUGYO作為日本臭氧測定技術的先驅者，對于臭氧的合理利用是必不可少的。

另外，有預處理系統和臭氧監測儀，可以根據不同的條件進行準確的測量。

負責配套臭氧濃度測量設備的開發、設計、制造、維護。利用涉及的領域很多，特別是上下水道設施的高級處理工藝和半導體工廠的生產工藝中常年采用，擁有日本國內很大的市場占有率。

此次開發的新產品是根據社會對環境的關注，采用UV-LED光源，實現了無水銀。另外，通過修正發光特性的技術，UV-LED實現了光源難以實現的高精度測量，使用了傳統的水銀燈具有與臭氧監測同等的精度。

1、高精度臭氧監視器:eg -3100系列

·采用UV-LED光源實現無水銀化

·發光修正技術實現了與低壓水銀燈產品同等的精度

·囊括凈水過程臭氧處理中的所有氣體測量點的生產線

·高精度、高分辨率，可適用于研究和開發用途

2、輪滑型臭氧監視器:eg -690

·采用UV-LED光源實現無水銀化

·發光修正技術實現了與低壓水銀燈產品同等的精度

·可在半導體制造工藝的臭氧氣體管道中單排設置

·適合裝置組裝